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穿越古今的模板刻蚀 (Stencil lithography)

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论坛元老

一面学习,一面生产,克服困难,敌人丧胆--毛泽东

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一鸣惊人 活跃会员 论坛元老

发表于 2017-5-3 16:20:51 |显示全部楼层
加法制造 (additive manufacturing)-工业界和学术界的一个新型领域,近些年迅猛发展。其应用领域已经延伸至医疗,食品,能源和汽车。加法制造或称3D打印,可以通过设计软件的辅助快速打印出复杂的机械结构,比如假肢或心脏支架。虽然加法制造体现出极大的潜力,但是现阶段的工艺很难达到亚微米尺度的精度。由此,对于微纳米尺度器件的制备,加法制造仍无法满足。

模板刻蚀 (Stencil lithography)是一项古老的工艺。科学家在澳大利亚曾发现9000年前原始人应用模板刻蚀的证据(图一,摘自Anicent bird stencils discovered in arnhem land, northern territiry, Australia, Antiquity)。这种古老工艺的原理极为简单,工程师先将设计好的图形刻在木板,塑料或者金属模板上,然后用此模板为模具来加工基底或各种表面。

在穿越近10000年后的今天,模板刻蚀开始在微纳米领域扮演重要的角色。斯蒂文斯理工机械工程系Chang-Hwan Choi教授团队杜可 (Ke Du)和丁君君(Junjun Ding)等人开发出一种超薄的模板(仅几百纳米厚),并应用此模板开发出微纳米尺度的加法制造(Additive nanomanufacturing) (图二)。应用激光,研究人员可以在该纳米模板上制作纳米尺度的结构并将该模板转移到多种材料的表面进行加工。该模板具备大面积和可重复应用的优点。近期,该团队的综述文章Stencil lithography for scalable micro-and nanomanufacturing刊登在Micromachines上。作为微纳米工艺的世界级领先团队,丁君君博士表示该技术将会在生物检测 (biosensing),能量收集 (energy harvesting)和纳米电子学 (nanoelectronics)领域发挥重要的作用。


阅读全文请点以下链接:
http://www.mdpi.com/2072-666X/8/4/131



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山高路远坑深,仍能纵横奔驰。谁敢横刀立马?唯我博纳大将军!改编自毛泽东的《六言诗•给彭德怀同志》
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发表于 2017-5-5 00:12:59 |显示全部楼层
穿越古今的模版刻蚀革命
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